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上海微系统与信息技... [43]
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会议论文 [4]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Enhanced Sensing of Nucleic Acids with Silicon Nanowire Field Effect Transistor Biosensors
期刊论文
NANO LETTERS, 2012, 卷号: 12, 期号: 10, 页码: 5262-5268
Gao, AR
;
Lu, N
;
Wang, YC
;
Dai, PF
;
Li, T
;
Gao, XL
;
Wang, YL
;
Fan, CH
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2013/04/23
SiNW-FETs
biosensor
ultrasensitive
detection limit
High Q Single Crystal Silicon Micromechanical Resonators With Hybrid Etching Process
期刊论文
IEEE SENSORS JOURNAL, 2012, 卷号: 12, 期号: 7, 页码: 2414-2415
Wu, GQ
;
Xu, DH
;
Xiong, B
;
Wang, YL
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/04/23
Dry release fabrication
hybrid etching
micromechanical resonators
pre-etched cavity
Fully front-side bulk-micromachined single-chip micro flow sensors for bare-chip SMT (surface mounting technology) packaging
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2012, 卷号: 22, 期号: 3, 页码: 35020
Liu, JD
;
Wang, JC
;
Li, XX
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/04/23
Uncooled Thermoelectric Infrared Sensor With Advanced Micromachining
期刊论文
IEEE SENSORS JOURNAL, 2012, 卷号: 12, 期号: 6, 页码: -
Xu, DH
;
Xiong, B
;
Wu, GQ
;
Ma, YL
;
Wang, YL
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2013/04/23
Advanced micromachining
microelectromechanical systems (MEMS)
thermoelectric
uncooled infrared sensor
wet silicon etching
XeF2 silicon etching
Design, Fabrication and Characterization of a 5x5 Array of Piezoresistive Stress and Temperature Sensors
期刊论文
MICRO-NANO TECHNOLOGY XIII, 2012, 卷号: 503, 页码: 43-48
Dou, CG
;
Wu, YH
;
Yang, H
;
Li, XX
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/04/23
Stress sensor
temperature sensor
sensor characterization
flexible board
Label-free DNA detection based on silicon nanowires
期刊论文
2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11.2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011, 页码: 2271-2274
Gao, A.R.
;
Lu, N.
;
Gao, X.L.
;
Dai, P.F.
;
Li, T.
;
Gong, Y.B.
;
Fan, C.H.
;
Wang, Y.L.
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/08/23
Axially stretched nano-thick piezoresistive silicon clamped-beams to sense specific-reaction-induced double-side surface-stress with much higher sensitivity than cantilevers
期刊论文
2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11.2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011, 期号: 0, 页码: 2574-2577
Chen, Ying
;
Xu, Pengcheng
;
Li, XX
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/08/23
Monolithic-integrated silicon bulk-micromachined accelerometer and pressure-sensor for tire-pressure-monitoring-system (TPMS) application
期刊论文
2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11.2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011, 期号: 0, 页码: 703-706
Wang, JH
;
Li, XX
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/08/28
Silicon-on-Insulator-on-Cavity-Structured Micropressure Sensor
期刊论文
SENSORS AND MATERIALS, 2011, 卷号: 23, 期号: 3, 页码: 159-166
Wu,AM
;
Wei,X
;
Yang,ZF
;
Chen,J
;
Chen,M
;
Bi,DW
;
Zhang,ZX
;
Wang,X
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/04/10
MYU
Silicon-on-Insulator-on-Cavity-Structured Micropressure Sensor
期刊论文
SENSORS AND MATERIALS, 2011, 卷号: 23, 期号: 3, 页码: 159-166
Wu, AM
;
Wei, X
;
Yang, ZF
;
Chen, J
;
Chen, M
;
Bi, DW
;
Zhang, ZX(重点实验室)
;
Wang, X(重点实验室)
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2013/05/10
Instruments & Instrumentation
Materials Science
Multidisciplinary
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