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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位    发表日期：2012     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Enhanced Sensing of Nucleic Acids with Silicon Nanowire Field Effect Transistor Biosensors 期刊论文 NANO LETTERS, 2012, 卷号: 12, 期号: 10, 页码: 5262-5268 Gao, AR; Lu, N; Wang, YC; Dai, PF; Li, T; Gao, XL; Wang, YL; Fan, CH 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2013/04/23 SiNW-FETs  biosensor  ultrasensitive  detection limit   High Q Single Crystal Silicon Micromechanical Resonators With Hybrid Etching Process 期刊论文 IEEE SENSORS JOURNAL, 2012, 卷号: 12, 期号: 7, 页码: 2414-2415 Wu, GQ; Xu, DH; Xiong, B; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/04/23 Dry release fabrication  hybrid etching  micromechanical resonators  pre-etched cavity   Fully front-side bulk-micromachined single-chip micro flow sensors for bare-chip SMT (surface mounting technology) packaging 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2012, 卷号: 22, 期号: 3, 页码: 35020 Liu, JD; Wang, JC; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/04/23 Uncooled Thermoelectric Infrared Sensor With Advanced Micromachining 期刊论文 IEEE SENSORS JOURNAL, 2012, 卷号: 12, 期号: 6, 页码: - Xu, DH; Xiong, B; Wu, GQ; Ma, YL; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/04/23 Advanced micromachining  microelectromechanical systems (MEMS)  thermoelectric  uncooled infrared sensor  wet silicon etching  XeF2 silicon etching   Design, Fabrication and Characterization of a 5x5 Array of Piezoresistive Stress and Temperature Sensors 期刊论文 MICRO-NANO TECHNOLOGY XIII, 2012, 卷号: 503, 页码: 43-48 Dou, CG; Wu, YH; Yang, H; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/04/23 Stress sensor  temperature sensor  sensor characterization  flexible board