QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 A high Q micromachined single crystal silicon bulk mode resonator with pre-etched cavity 期刊论文 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2012, 卷号: 18, 期号: 1, 页码: 25-30 Wu, GQ; Xu, DH; Xiong, B; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/04/23 High Q Single Crystal Silicon Micromechanical Resonators With Hybrid Etching Process 期刊论文 IEEE SENSORS JOURNAL, 2012, 卷号: 12, 期号: 7, 页码: 2414-2415 Wu, GQ; Xu, DH; Xiong, B; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/04/23 Dry release fabrication  hybrid etching  micromechanical resonators  pre-etched cavity