Silicon-on-Insulator-on-Cavity-Structured Micropressure Sensor

	Silicon-on-Insulator-on-Cavity-Structured Micropressure Sensor
	Wu, AM ; Wei, X ; Yang, ZF ; Chen, J ; Chen, M ; Bi, DW ; Zhang, ZX（重点实验室） ; Wang, X（重点实验室）
刊名	SENSORS AND MATERIALS
	2011
卷号	23 期号:3 页码:159-166
关键词	Instruments & Instrumentation Materials Science Multidisciplinary
ISSN号	0914-4935
学科主题	Instruments & Instrumentation; Materials Science
收录类别	SCI
语种	英语
公开日期	2013-05-10
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/115109]
专题	上海微系统与信息技术研究所_信息功能材料国家重点实验室2008-2012_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	Wu, AM,Wei, X,Yang, ZF,et al. Silicon-on-Insulator-on-Cavity-Structured Micropressure Sensor[J]. SENSORS AND MATERIALS,2011,23(3):159-166.
APA	Wu, AM.,Wei, X.,Yang, ZF.,Chen, J.,Chen, M.,...&Wang, X.(2011).Silicon-on-Insulator-on-Cavity-Structured Micropressure Sensor.SENSORS AND MATERIALS,23(3),159-166.
MLA	Wu, AM,et al."Silicon-on-Insulator-on-Cavity-Structured Micropressure Sensor".SENSORS AND MATERIALS 23.3(2011):159-166.