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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位    发表日期：2007     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Squeeze film air damping in MEMS 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2007, 卷号: 136, 期号: 1, 页码: 3-27 Bao, MH; Yang, H 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/03/24 TORSION MIRROR  VACUUM  MODEL  ACCELEROMETER  POLYSILICON  SIMULATION   Micro IR spectrometer based on blaze grating 期刊论文 2007 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2007, 页码: 904-907 Zhou, H; Li, T; Wang, Y; Li, X; Wang, Y 收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2011/12/17 SILICON   Simultaneous Formation Of Through Wafer Electrical Interconnects And Highly Dense & Uniform Nickel Tips For Silicon-Cantilever Probe-Cards, 会议论文 Transducers’07---The 14th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, 2007 Fei Wang, Xinxin Li, Songlin Feng, 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2012/05/04