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科研机构
上海微系统与信息技术... [8]
内容类型
期刊论文 [8]
发表日期
2009 [8]
学科主题
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Engineerin... [1]
Engineerin... [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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发表日期:2009
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The properties of high-k gate dielectric films deposited on HRSOI
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2009, 卷号: 86, 期号: 12, 页码: 2404-2407
Cheng, XH
;
Xu, DP
;
Song, ZR
;
He, DW
;
Yu, YH
;
Zhao, QT
;
Shen, DS
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/24
SOI
CAPACITORS
YOUNG'S MODULUS SIZE EFFECT OF SCS NANOBEAM BY TENSILE TESTING IN ELECTRON MICROSCOPY
期刊论文
2009 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2009, 页码: 205-208
Jin, QH
;
Li, T
;
Wang, YL
;
Li, XX
;
Yang, H
;
Xu, FF
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2011/12/17
MECHANICAL-PROPERTIES
SILICON
FABRICATION
AFM
Integrated micromachined thermopile IR detectors with an XeF2 dry-etching process
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2009, 卷号: 19, 期号: 12, 页码: 125003-125003
Xu, DH
;
Xiong, B
;
Wang, YL
;
Liu, MF
;
Li, T
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2011/12/17
CMOS
SENSORS
SILICON
SI
Highly fluorescent TPA-PBPV nanofibers with amplified sensory response to TNT
期刊论文
CHEMICAL PHYSICS LETTERS, 2009, 卷号: 483, 期号: 4-6, 页码: 219-223
Deng, CM
;
Gong, P
;
He, QG
;
Cheng, JG
;
He, C
;
Shi, LQ
;
Zhu, DF
;
Lin, T
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2011/12/17
CHEMICAL SENSORS
ALTERNATING COPOLYMERS
CONJUGATED POLYMERS
SILICA
NANOWIRES
A non-isothermal model for squeeze film damping of rarefied gas
期刊论文
2009 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2009, 页码: 213-216
Yang, H
;
Cheng, HT
;
Dai, B
;
Li, XX
;
Wang, YL
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2011/12/17
POLYSILICON
REGIME
MEMS
Unusual spectroscopic properties of PPE/TiO2 composite and its sensor response to TNT
期刊论文
SYNTHETIC METALS, 2009, 卷号: 159, 期号: 3-4, 页码: 320-324
Deng, CM
;
He, QG
;
Cheng, JG
;
Zhu, DF
;
He, C
;
Lin, T
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2011/12/17
CONJUGATED POLYMER-FILMS
CHEMICAL SENSORS
HYBRID MATERIALS
SOLAR-CELLS
TIO2
Drag force micro solid state silicon plate wind velocity sensor
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2009, 卷号: 151, 期号: 1 Pages, 页码: 35-41
Du, LD
;
Zhao, Z
;
Pang, C
;
Fang, Z
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2012/05/12
An Electromagnetically Excited Silicon Nitride Beam Resonant Accelerometer
期刊论文
SENSORS, 2009, 卷号: 9, 期号: 3 Pages, 页码: 1330-1338
Chen, DY
;
Wu, ZW
;
Liu, L
;
Shi, XJ
;
Wang, JB
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提交时间:2012/05/12
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