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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位    发表日期：2010     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 A High-Performance Dual-Cantilever High-Shock Accelerometer Single-Sided Micromachined in (111) Silicon Wafers 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2010, 卷号: 19, 期号: 6, 页码: 1515-1520 Wang, JC; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2011/12/17 FABRICATION  SENSORS   Design, fabrication and characterization of a front-etched micromachined thermopile for IR detection 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 11, 页码: 115004-115004 Xu, DH; Xiong, B; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2011/12/17 SENSORS  SI