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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位    学科主题：Engineering, Electrical & Electronic     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 YOUNG'S MODULUS SIZE EFFECT OF SCS NANOBEAM BY TENSILE TESTING IN ELECTRON MICROSCOPY 期刊论文 2009 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2009, 页码: 205-208 Jin, QH; Li, T; Wang, YL; Li, XX; Yang, H; Xu, FF 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2011/12/17 MECHANICAL-PROPERTIES  SILICON  FABRICATION  AFM   A non-isothermal model for squeeze film damping of rarefied gas 期刊论文 2009 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2009, 页码: 213-216 Yang, H; Cheng, HT; Dai, B; Li, XX; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2011/12/17 POLYSILICON  REGIME  MEMS   Micro IR spectrometer based on blaze grating 期刊论文 2007 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2007, 页码: 904-907 Zhou, H; Li, T; Wang, Y; Li, X; Wang, Y 收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2011/12/17 SILICON   Nanofabrication based on MEMS 期刊论文 PROCEEDINGS OF THE IEEE SENSORS 2004, VOLS 1-3, 2004, 页码: 1044-1047 Wang, YL; Li, XX; Li, T; Yang, H; Jiao, JW 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2011/11/08 FABRICATION  TECHNOLOGY  RESONATORS  FILMS  SI