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科研机构
上海微系统与信息技术... [9]
内容类型
期刊论文 [9]
发表日期
2004 [1]
2002 [1]
1999 [1]
1997 [3]
1996 [1]
1995 [1]
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学科主题
Multidisci... [9]
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Effect of hydrogen implantation on SIMOX SOI materials
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2004, 卷号: 21, 期号: 1, 页码: 149-152
Yi,WB
;
Chen,J
;
Chen,M
;
Wang,X
;
Zou,SC
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
SILICON
OXYGEN
SEPARATION
Fabrication of device-grade separation-by-implantation-of-oxygen materials by optimizing dose-energy match
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH, 2002, 卷号: 17, 期号: 7, 页码: 1634-1643
Chen,M
;
Yu,YH
;
Wang,X
;
Wang,X
;
Chen,J
;
Liu,XH
;
Dong,YM
收藏
  |  
浏览/下载:25/0
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提交时间:2012/03/24
BURIED OXIDE
ION-IMPLANTATION
SIMOX
SILICON
LAYERS
TEMPERATURE
WAFERS
A study of optical characteristics of damage in oxygen-implanted 6H-SiC
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS, 1999, 卷号: 18, 期号: 12, 页码: 979-982
Wang,LW
;
Huang,JP
;
Lin,CL
;
Zou,SC
;
Zheng,YX
;
Wang,XJ
;
Huang,DM
;
Zetterling,CM
;
Ostling,M
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/03/25
ENHANCED THERMAL-OXIDATION
SILICON-CARBIDE
ION-IMPLANTATION
THIN-FILMS
AMORPHIZATION
LAYERS
A study on the as redistribution in beta-FeSi2 film prepared by reactive deposition epitaxy
期刊论文
ION IMPLANTATION TECHNOLOGY - 96, 1997, 期号: 0, 页码: 721-724
Wang,LW
;
Lin,CG
;
Chen,XD
;
Zou,SC
;
Zhou,ZY
;
Liu,SH
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/25
In-plane texture study of the Yttria-stabilized Zirconia films fabricated by ion-beam-assisted deposition
期刊论文
ION IMPLANTATION TECHNOLOGY - 96, 1997, 期号: 0, 页码: 729-732
Yuan,J
;
Yang,GQ
;
Mao,YJ
;
Ren,XC
;
Liu,XH
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/03/25
Experimental studies of N+ implantation into CVD diamond thin films
期刊论文
SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES, 1997, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 361-368
Xin,HP
;
Lin,CL
;
Wang,JX
;
Zou,SC
;
Shi,XH
;
Lin,ZX
;
Zhou,ZY
;
Liu,ZG
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/25
ION
Experimental studies of superhard materials carbon nitride CNx prepared by ion-beam synthesis method
期刊论文
SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES, 1996, 卷号: 39, 期号: 4, 页码: 404-411
Xin,HP
;
Lin,CL
;
Xu,HP
;
Zou,SC
;
Shi,XH
;
Wu,XL
;
Zhu,H
;
Hemment,PLF
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/25
STRUCTURAL-PROPERTIES
SILICON-NITRIDE
FILMS
IMPLANTATION
N+
OPTICAL EFFECTS OF DOPED TOP LAYERS IN SILICON-ON-INSULATOR STRUCTURES FORMED BY ION-IMPLANTATION
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE, 1995, 卷号: 30, 期号: 13, 页码: 3539-3542
YU,YH
;
LIN,CG
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/25
THE EFFECT OF SI, F IMPLANTATION ON THE FORMATION AND LIGHT-EMITTING PROPERTIES OF POROUS SILICON
期刊论文
MATERIALS SYNTHESIS AND PROCESSING USING ION BEAMS, 1994, 卷号: 316, 期号: 0, 页码: 445-450
WANG,LW
;
LIN,CL
;
LIU,P
;
ZHOU,ZY
;
Zou,SC
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/03/25
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