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Realization and Characterization of a Bulk-Type All-Silicon High Pressure Sensor
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 231-238
作者:
Chan, Elena
;
Lin, Dequan
;
Lu, Lei
;
Zhang, Deqiang
;
Guo, Shichao
收藏
  |  
浏览/下载:47/0
  |  
提交时间:2018/09/26
Pressure sensor
piezoresistive
MEMS
silicon
bulk
eutectic bonding
Realization and Characterization of a Bulk-Type All-Silicon High Pressure Sensor
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 231-238
作者:
Chan, Elena
;
Lin, Dequan
;
Lu, Lei
;
Zhang, Deqiang
;
Guo, Shichao
收藏
  |  
浏览/下载:44/0
  |  
提交时间:2018/09/26
Pressure sensor
piezoresistive
MEMS
silicon
bulk
eutectic bonding
Research of a Novel Ultra-High Pressure Sensor with High-Temperature Resistance
期刊论文
MICROMACHINES, 2018, 卷号: 9
作者:
Zhang, Guo-Dong
;
Zhao, Yu-Long
;
Zhao, Yun
;
Wang, Xin-Chen
;
Wei, Xue-Yong
收藏
  |  
浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2019/11/26
high-temperature resistance
microelectromechanical systems (MEMS) technology
silicon-on-insulator (SOI) piezoresistive element
small size
ultra-high pressure sensor
The Design and Analysis of Piezoresistive Shuriken-Structured Diaphragm Micro-Pressure Sensors
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2017
Guan, Taotao
;
Yang, Fang
;
Wang, Wei
;
Huang, Xian
;
Jiang, Boyan
;
Zhang, Dacheng
收藏
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浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2017/12/03
High sensitivity and linearity
piezoresistive pressure sensor
shuriken-structured diaphragm
SENSITIVITY
LINEARITY
SILICON
RANGES
A Micromachined Piezoresistive Pressure Sensor with a Shield Layer
期刊论文
SENSORS, 2016, 卷号: 16, 期号: 8
作者:
Cao, Gang
;
Wang, Xiaoping
;
Xu, Yong
;
Liu, Sheng
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/05
silicon pressure sensor
shield layer
stability
A Low-Power and Portable Biomedical Device for Respiratory Monitoring with a Stable Power Source
期刊论文
Sensors, 2015
作者:
Jiachen Yang
;
Bobo Chen
;
Jianxiong Zhou
;
Zhihan Lv
收藏
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浏览/下载:20/0
  |  
提交时间:2016/01/27
High temperature pressure sensor using a thermostable electrode
其他
2015-01-01
Liu, G.D.
;
Cui, W.P.
;
Hu, H.
;
Zhang, F.S.
;
Zhang, Y.X.
;
Gao, C.C.
;
Hao, Y.L.
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2017/12/03
A Smart High Accuracy Silicon Piezoresistive Pressure Sensor Temperature Compensation System
期刊论文
SENSORS, 2014, 卷号: 14, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 12174-12190
作者:
Zhou, Guanwu
;
Zhao, Yulong
;
Guo, Fangfang
;
Xu, Wenju
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2019/12/03
temperature compensation
polynomial fitting
artificial neural networks
extreme learning machine
silicon piezoresistive pressure sensor
Packaging a piezoresistive pressure sensor for intracranial pressure monitoring
会议论文
作者:
Meng, Xiawei
;
Zhao, Yulong
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/02
Biomedical applications
Implantable sensors
Intra-cranial pressure
Miniaturization
Piezo-resistive
Piezoresistive pressure sensors
Silicon bulk micromachining technology
Single-crystal silicon wafers
Silicon-glass-based single piezoresistive pressure sensors for harsh environment applications
期刊论文
http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/23/7/075020, 2013
San, Haisheng
;
Zhang, Hong
;
Zhang, Qiang
;
Yu, Yuxi
;
Chen, Xuyuan
;
伞海生
;
张弘
;
余煜玺
;
陈旭远
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2015/07/22
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