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北京大学 [9]
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2015 [1]
2012 [2]
2010 [1]
2009 [3]
2007 [1]
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The Design and Analysis of Piezoresistive Shuriken-Structured Diaphragm Micro-Pressure Sensors
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2017
Guan, Taotao
;
Yang, Fang
;
Wang, Wei
;
Huang, Xian
;
Jiang, Boyan
;
Zhang, Dacheng
收藏
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浏览/下载：5/0
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提交时间：2017/12/03
High sensitivity and linearity
piezoresistive pressure sensor
shuriken-structured diaphragm
SENSITIVITY
LINEARITY
SILICON
RANGES
High temperature pressure sensor using a thermostable electrode
其他
2015-01-01
Liu, G.D.
;
Cui, W.P.
;
Hu, H.
;
Zhang, F.S.
;
Zhang, Y.X.
;
Gao, C.C.
;
Hao, Y.L.
收藏
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浏览/下载：2/0
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提交时间：2017/12/03
Monolithic Integration of a Micromachined Flow Sensor Based on Post-CMOS
其他
2012-01-01
Li, Dan
;
Yang, Fang
;
Zhao, Danqi
;
Li, Ting
;
Zhang, Dacheng
收藏
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浏览/下载：6/0
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提交时间：2015/11/10
MEMS
flow sensor
Post-CMOS
Inter-CMOS
PRESSURE SENSOR
Design and Optimization of a TSV 3D Packaged Pressure Sensor for High Temperature and Dynamic Measurement
其他
2012-01-01
Liu, Zhenhua
;
Huang, Xian
;
Zhu, Zhiyuan
;
Chen, Jing
;
Jin, Yufeng
收藏
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浏览/下载：2/0
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提交时间：2015/11/16
Monolithic integration of a micromachined piezoresistive flow sensor
期刊论文
journal of micromechanics and microengineering, 2010
Li, Dan
;
Zhao, Tao
;
Yang, Zhenchuan
;
Zhang, Dacheng
收藏
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浏览/下载：2/0
|
提交时间：2015/11/13
FLUID
A monolithic integrated micromachined piezoresistive flow sensor
其他
2009-01-01
Li, Dan
;
Zhao, T.
;
Qian, L.
;
Yang, Z.C.
;
Zhang, Dacheng
收藏
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浏览/下载：2/0
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提交时间：2015/11/10
Research on double-barrier resonant tunneling effect based stress measurement methods
期刊论文
sensors and actuators a physical, 2009
Xiong, Jijun
;
Zhang, Wendong
;
Mao, Haiyang
;
Wang, Kaiqun
收藏
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浏览/下载：2/0
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提交时间：2015/11/12
Piezoresistive sensitivity
Stress measurement
Oscillation frequency
Resonant tunneling effect
GAAS PRESSURE SENSOR
DIODES
DEVICES
GHZ
A novel micro-accelerometer with adjustable sensitivity based on resonant tunnelling diodes
期刊论文
chinese physics b, 2009
Xiong Ji-Jun
;
Mao Hai-Yang
;
Zhang Wen-Dong
;
Wang Kai-Qun
收藏
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浏览/下载：4/0
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提交时间：2015/11/16
micro-accelerometer
piezoresistance effect
resonant tunnelling diode (RTD)
sensitivity
DOUBLE-BARRIER STRUCTURES
GAAS PRESSURE SENSOR
SUPERLATTICE
GHZ
Fabrication of monolithic silicon multi-sensor on SOI wafer
期刊论文
pan tao ti hsueh paochinese journal of semiconductors, 2007
Xu, Jingbo
;
Zhao, Yulong
;
Jiang, Zhuangde
;
Zhang, Dacheng
;
Yang, Fang
;
Sun, Jian
收藏
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浏览/下载：2/0
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提交时间：2015/11/17
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