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基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文
仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11
魏长征; 周伟; 李昕欣

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三维掩膜硅各向异性腐蚀工艺释放微悬空结构 期刊论文
微纳电子技术, 2011, 期号: 05
黄占喜; 吴亚明

收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2012/04/13

亚微米间隙微结构的制作方法及其制作的微机械谐振器 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101917174A, 申请日期: 2010-12-15, 公开日期: 2010-12-15
熊斌; 徐德辉; 吴国强; 王跃林

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一种测试加速度,压力和温度的集成硅芯片及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101551403, 申请日期: 2009-10-07, 公开日期: 2009-10-07
李昕欣; 王权

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一种基于表面微机械加工的绝对压力传感器芯片及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101487747, 申请日期: 2009-07-22, 公开日期: 2009-07-22
王权; 李昕欣; 鲍敏杭

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基于热光效应的红外焦平面阵列器件 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2009
闫许

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一种低温度交叉灵敏度的微悬臂梁谐振器 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101064197, 申请日期: 2007-10-31, 公开日期: 2007-10-31
韩建强; 李青; 李昕欣; 王跃林; 韩安太; 孙延伟

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室温法布里-珀罗红外探测器阵列及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1699939, 申请日期: 2005-11-23, 公开日期: 2005-11-23
冯飞; 王跃林; 杨广立; 熊斌; 焦继伟

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收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2012/01/06

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