| 室温法布里-珀罗红外探测器阵列及其制作方法 | |
| 冯飞 ; 王跃林 ; 杨广立 ; 熊斌 ; 焦继伟 | |
| 2005-11-23 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1699939 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种室温F-P红外探测器阵列及制作方法，其特征在于硅基 底和可动微镜之间构成了红外谐振腔，可动微镜和带有高反膜的玻璃之间构 成F-P腔。其制作特征在于采用普通硅片，首先通过腐蚀硅确定F-P腔的长 度，通过制作牺牲层确定红外谐振腔的长度，在牺牲层上淀积氮化硅、铝或 金薄膜，光刻并刻蚀出微镜图案，随后去掉牺牲层材料，释放可动微镜，最 后在真空中作硅-玻璃键合，形成F-P腔。本发明的优点在于：采用体硅与表 面牺牲层技术相结合的工艺，可方便的制作出符合要求的红外谐振腔和F-P 腔，提高了器件的红外探测性 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2005-11-23 |
| 申请日期 | 2005-06-15 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200510026743.7 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48179]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯飞,王跃林,杨广立,等. 室温法布里-珀罗红外探测器阵列及其制作方法. CN1699939. 2005-11-23. |
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