| 题名 | 基于热光效应的红外焦平面阵列器件 |
| 作者 | 闫许 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2009 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 红外探测 红外焦平面阵列 光读出 热光效应 微机电系统 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 光读出红外焦平面阵列通常以双材料效应作为探测机理，利用悬臂梁支撑的反射镜、光栅等结构的热机械运动实现读出光相位调制与红外探测。2006年法国Redshift公司推出一种基于热光效应的热相机模块，采用对称结构的膜系作为敏感元，利用膜系吸收红外辐射后温度改变引起α-Si薄膜折射率变化调制850nm近红外光相位，实现红外探测，但对称式结构设计限制了器件红外吸收效率提高。本文以研究非晶硅、氮化硅薄膜特性为切入点，提高器件红外吸收效率为目标，提出一种采用非对称膜系作为敏感元的基于热光效应的红外焦平面阵列，器件在8- |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83198]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 闫许. 基于热光效应的红外焦平面阵列器件[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2009. |
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