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科研机构
西安交通大学 [1]
中国科学院大学 [1]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2015 [2]
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发表日期:2015
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Length-extensional resonating gas sensors with ic-foundry compatible low-cost fabrication in non-soi single-wafer
期刊论文
Microelectronic engineering, 2015, 卷号: 136, 页码: 1-7
作者:
Yu, Feng
;
Xu, Pengcheng
;
Wang, Jiachou
;
Li, Xinxin
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提交时间:2019/05/10
Resonant gas sensor
Extensional bulk resonance mode
Non-soi wafer
Low-cost fabrication
Integrated-circuit foundry
Organo-phosphorous pesticide
Optical micro-electro-mechanical-system pressure sensor based on light intensity modulation
期刊论文
Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 491-495
作者:
Zhao, Yulong
;
Li, Cun
;
Hao, Mengmeng
;
Cheng, Rongjun
;
Fan, Xiaole
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提交时间:2019/12/02
thin film
finite element method
flammable areas
fibre conducts
light intensity modulation
silicon compounds
microsensors
bulk micromachining technology
optical microelectromechanical-system pressure sensor
combustible areas
optical cables
intensity modulation
pressure sensors
silicon diaphragm deformation
micromachining
pressure measurement
finite element analysis
optical cable
reflected light intensity shift
pressure 0 MPa to 20 MPa
signal transmission
photoelectric detection circuit
micro-optomechanical devices
elemental semiconductors
optical modulation
thin films
source light
silicon
fibre optic sensors
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