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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Optical micro-electro-mechanical-system pressure sensor based on light intensity modulation 期刊论文 Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 491-495 作者:  Zhao, Yulong;  Li, Cun;  Hao, Mengmeng;  Cheng, Rongjun;  Fan, Xiaole 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/02 thin film  finite element method  flammable areas  fibre conducts  light intensity modulation  silicon compounds  microsensors  bulk micromachining technology  optical microelectromechanical-system pressure sensor  combustible areas  optical cables  intensity modulation  pressure sensors  silicon diaphragm deformation  micromachining  pressure measurement  finite element analysis  optical cable  reflected light intensity shift  pressure 0 MPa to 20 MPa  signal transmission  photoelectric detection circuit  micro-optomechanical devices  elemental semiconductors  optical modulation  thin films  source light  silicon  fibre optic sensors   半导体激光反馈光注入式硅微机械谐振传感技术的研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009 作者:  王少卿 收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2016/11/28 硅微谐振器  谐振传感器  半导体激光器  反馈光注入