×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
上海微系统与信息技术... [3]
中国科学院大学 [1]
内容类型
会议论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2015 [1]
2011 [3]
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
帮助
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
题名升序
题名降序
作者升序
作者降序
Length-extensional resonating gas sensors with ic-foundry compatible low-cost fabrication in non-soi single-wafer
期刊论文
Microelectronic engineering, 2015, 卷号: 136, 页码: 1-7
作者:
Yu, Feng
;
Xu, Pengcheng
;
Wang, Jiachou
;
Li, Xinxin
收藏
  |  
浏览/下载:70/0
  |  
提交时间:2019/05/10
Resonant gas sensor
Extensional bulk resonance mode
Non-soi wafer
Low-cost fabrication
Integrated-circuit foundry
Organo-phosphorous pesticide
A single-wafer-based single-sided bulk-micromachining technique for high-yield and low-cost volume production of pressure sensors
期刊论文
2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11.2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011, 期号: 0, 页码: 410-413
Wang, Jiachou
;
Li, XX
收藏
  |  
浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2012/08/23
MONOLITHIC-INTEGRATED SILICON BULK-MICROMACHINED ACCELEROMETER AND PRESSURE-SENSOR FOR TIRE-PRESSURE-MONITORING-SYSTEM (TPMS) APPLICATION
会议论文
Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011
Jiachou Wang and Xinxin Li
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2012/05/04
A SINGLE-WAFER-BASED SINGLE-SIDED BULK-MICROMACHINING TECHNIQUE FOR HIGH-YIELD AND LOW-COST VOLUME PRODUCTION OF PRESSURE SENSORS
会议论文
Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011
Jiachou Wang and Xinxin Li
收藏
  |  
浏览/下载:20/0
  |  
提交时间:2012/05/04
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace