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| 大口径衍射光学元件反应离子刻蚀均匀性及调控方法的研究 学位论文
成都: 电子科技大学, 2021
作者: 张景文
  收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2021/06/29 |
| 不同气氛低气压电容耦合放电等离子体对聚甲基丙烯酸甲酯表面的改性 期刊论文
真空科学与技术学报, 2019, 卷号: 039
作者: 隋思源; 倪国华; 谢洪兵; 林启富; 赵彦君
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2020/11/25
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| 高填充因子小孔径仿生复眼结构的制备技术研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者: 刘鑫
收藏 | 浏览/下载：32/0 | 提交时间：2017/06/12
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| ICP刻蚀气压对碲镉汞电学性能的影响 期刊论文
半导体光电, 2017, 期号: 1, 页码: 61-65
作者: 操神送; 杜云辰; 朱龙源; 兰添翼; 赵水平
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2018/11/20
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| SOG层和光抗蚀剂层的反应离子刻蚀方法 专利
专利号: CN201010601185.3, 申请日期: 2015-06-03, 公开日期: 2012-07-11
作者: 殷华湘 ; 徐秋霞; 贺晓彬; 陈大鹏
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2016/09/18 |
| 大气压等离子体射流特性及其刻蚀光阻材料研究 学位论文
2015
作者: 吴琛
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 低温等离子体流动的非平衡近似及数值模拟 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者: 杨弼杰
收藏 | 浏览/下载：147/0 | 提交时间：2015/08/28 |
| 层间电介质层的平面化方法 专利
专利号: CN201010601744.0, 申请日期: 2014-01-08, 公开日期: 2012-07-04
作者: 孟令款; 殷华湘; 徐秋霞; 杨涛; 陈大鹏
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2016/03/17 |
| 二倍频薄膜的损伤性能研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者: 刘杰
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于PSS 刻蚀平台的真空微气压控制研究 期刊论文
光电工程, 2013
作者: 李超波; 李勇滔; 林永奔
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2014/10/22 |
