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裸露金属电极大气压射频辉光放电研究进展 期刊论文
2010, 2010
李和平; 李果; 王森; 包成玉; LI Heping; LI Guo; WANG Sen; BAO Chengyu
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ICP刻蚀机反应腔室气流仿真研究 期刊论文
2010, 2010
程嘉; 朱煜; CHENG Jia; ZHU Yu
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感应耦合等离子体刻蚀机二维放电模拟 期刊论文
2010, 2010
程嘉; 朱煜; 汪劲松; Cheng Jia; Zhu Yu; Wang Jinsong
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纳米级电子束光刻技术及ICP深刻蚀工艺技术的研究 期刊论文
2010, 2010
李群庆; 张立辉; 陈墨; 范守善
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基于回归正交设计的ICP刻蚀机工艺腔室流场特性分析 期刊论文
2010, 2010
程嘉; 朱煜; 段广洪; 王春洪; Cheng Jia; Zhu Yu; Duan Guanghong; Wang Chunhong
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