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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2015    专题：西安交通大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Optical micro-electro-mechanical-system pressure sensor based on light intensity modulation 期刊论文 Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 491-495 作者:  Zhao, Yulong;  Li, Cun;  Hao, Mengmeng;  Cheng, Rongjun;  Fan, Xiaole 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/02 thin film  finite element method  flammable areas  fibre conducts  light intensity modulation  silicon compounds  microsensors  bulk micromachining technology  optical microelectromechanical-system pressure sensor  combustible areas  optical cables  intensity modulation  pressure sensors  silicon diaphragm deformation  micromachining  pressure measurement  finite element analysis  optical cable  reflected light intensity shift  pressure 0 MPa to 20 MPa  signal transmission  photoelectric detection circuit  micro-optomechanical devices  elemental semiconductors  optical modulation  thin films  source light  silicon  fibre optic sensors