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一种混晶材料的制备方法及用该材料制备的半导体器件 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102064097A, 申请日期: 2011-05-18, 公开日期: 2011-05-18
王曦; 张苗; 薛忠营

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体硅上外延超薄Si1-xGex用于制备SGOI材料 期刊论文
功能材料与器件学报, 2011, 期号: 02
薛忠营; 张波; 魏星; 张苗

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外延应变锗硅 SGOI

混合材料反型模式全包围栅CMOS场效应晶体管 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101719500A, 申请日期: 2010-06-02, 公开日期: 2010-06-02
肖德元; 王曦; 张苗; 陈静; 薛忠营

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混合材料积累型圆柱体全包围栅CMOS场效应晶体管 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101719499A, 申请日期: 2010-06-02, 公开日期: 2010-06-02
肖德元; 王曦; 张苗; 陈静; 薛忠营

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混合材料反型模式圆柱体全包围栅CMOS场效应晶体管 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101719498A, 申请日期: 2010-06-02, 公开日期: 2010-06-02
肖德元; 王曦; 张苗; 陈静; 薛忠营

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混合材料积累型全包围栅CMOS场效应晶体管 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101710584A, 申请日期: 2010-05-19, 公开日期: 2010-05-19
肖德元; 王曦; 张苗; 陈静; 薛忠营

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用smart-cut方法制备GOI材料及研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 2007, 期号: 03
詹达; 马小波; 刘卫丽; 朱鸣; 宋志棠

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硫系相变材料化学机械抛光的无磨料抛光液及其应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1632023, 申请日期: 2005-06-29, 公开日期: 2005-06-29
张楷亮; 宋志棠; 封松林; 陈邦明

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硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液及其应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1616572, 申请日期: 2005-05-18, 公开日期: 2005-05-18
张楷亮; 宋志棠; 刘波; 刘卫丽; 封松林; 陈邦明

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基于注氧隔离技术的绝缘体上锗硅材料及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1588619, 申请日期: 2005-03-02, 公开日期: 2005-03-02
狄增峰; 安正华; 张苗; 林成鲁

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