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A large-size and polarization-independent two dimensional grating fabricated by scanned reactive-ion-beam etching
期刊论文
Nanophotonics, 2022, 卷号: 11, 期号: 21, 页码: 4649-4657
作者:
W. Zhang
;
W. H. Li
;
T. Zhang
;
Z. M. Zheng
;
Z. D. Chi
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2023/06/14
Scanning ion beam etching: A method for the fabrication of computer-generated hologram with nanometric accuracy for aspherical testing
期刊论文
Optics and Lasers in Engineering, 2021, 卷号: 139
作者:
R. Wang
;
Z. Zhang
;
Y. Bai
;
Y. Wang
;
X. Yin
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2022/06/13
Metallic nanomesh for high-performance transparent electromagnetic shielding
期刊论文
Optical Materials Express, 2020, 卷号: 10, 期号: 3, 页码: 796-806
作者:
Liang, Zhuocheng
;
Zhao, Zeyu
;
Pu, Mingbo
;
Luo, Jun
;
Xie, Xin
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2021/05/11
Influence of dry etching on the properties of SiO2 and HfO2 single layers
期刊论文
APPLIED OPTICS, 2020, 卷号: 59, 期号: 5, 页码: A128-A134
作者:
Xie, LY
;
Liu, HS
;
Zhao, J
;
Jiao, HF
;
Zhang, JL
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2021/09/06
THIN-FILMS
Fabrication of refractive silicon microlens array with a large focal number and accurate lens profile
期刊论文
MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
作者:
Zhou, Xiaojun
;
Song, Aiguo
;
Wang, Shuai
;
Wang, Mengjia
;
Yu, Weixing
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浏览/下载:103/0
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提交时间:2019/10/28
Design and fabrication of an artificial compound eye for multi-spectral imaging
期刊论文
Micromachines, 2019, 卷号: 10, 期号: 3
作者:
Cao, Axiu
;
Pang, Hui
;
Zhang, Man
;
Shi, Lifang
;
Deng, Qiling
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2021/05/06
artificial compound eye
multi-spectral imaging
lithography
spectral splitting
XPS studies of nitrogen doping niobium used for accelerator applications
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2018, 卷号: 439, 页码: 1119-1126
作者:
Yang, Ziqin
;
Lu, Xiangyang
;
Tan, Weiwei
;
Zhao, Jifei
;
Yang, Deyu
收藏
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2018/05/31
Niobium
Nitrogen Doping
X-ray Photoelectron Spectroscopy
Surface Composition
Nitride
Etching of glass, silicon, and silicon dioxide using negative ionic liquid ion sources
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2018, 卷号: 36
作者:
Xu, Tiantong
;
Tao, Zhi
;
Lozano, Paulo C.
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/30
Etching
Glass
Ion sources
Ionic conduction
Ionic liquids
Low-k dielectric
Silica
Silicon oxides
1-ethyl-3-methylimidazolium tetrafluoroborate
Dielectric substrates
Etching selectivity
Fluorine radical
Ion-beam applications
Ionic liquid ion sources
Negatively charged
Surface charge accumulations
Ion beams
A strong saddle-shaped surface-to-volume ratio effect on the Young's modulus of silicon nanotubes
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2018, 卷号: 112
作者:
Yue, Yonghai
;
Gong, Qihua
;
Li, Zhiqin
;
Duan, Huigao
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2019/12/30
Electron beam lithography
Nanotubes
Reactive ion etching
Silicon
Yarn
Device application
In-situ compression
Nano-scale objects
Nanofabrication process
One-dimensional nanomaterials
Silicon nanotubes
Single crystalline silicon
Surface-to-volume ratio
Elastic moduli
High-performance etching of multilevel phase-type Fresnel zone plates with large apertures
期刊论文
Optics Communications, 2018, 卷号: 407, 页码: 227-233
作者:
Guo, C. L.
;
Zhang, Z. Y.
;
Xue, D. L.
;
Li, L. X.
;
Wang, R. Q.
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/09/17
Fresnel zone plate
Diffractive optical elements
Etching depth
uniformity
Ion beam etching
Dwell time algorithm
dwell-time algorithm
dielectric gratings
fabrication errors
x-ray
ion
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