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科研机构
大连理工大学 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2018 [1]
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Study of Three-Dimensional Small Chip Stacking Using Low Cost Wafer-Level Micro-bump/B-Stage Adhesive Film Hybrid Bonding and Via-Last TSVs
期刊论文
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2018, 卷号: 47, 页码: 7544-7557
作者:
Yao, Mingjun
;
Zhao, Ning
;
Wang, Teng
;
Yu, Daquan
;
Xiao, Zhiyi
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2019/12/02
3D IC
micro-bump
B-stage adhesive film
wafer-level hybrid bonding
via-last TSVs
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