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| GaN基板上超薄阳极氧化铝的制备 期刊论文
半导体技术, 2011, 期号: 02
王新中; 于广辉; 李世国
  收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2012/04/13
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| 0.18μm MOSFET器件的总剂量辐照效应 期刊论文
物理学报, 2011, 期号: 11
刘张李; 胡志远; 张正选; 邵华; 宁冰旭; 毕大炜; 陈明; 邹世昌
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2012/04/13
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| 用于纳米梁位移检测的MOS电容下压阻结构 会议论文
第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009
成海涛; 杨恒; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2012/01/18
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| 高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析 会议论文
第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009
鲍海飞; 李昕欣; 宋朝辉; 张鲲; 刘民; 陆德仁
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2012/01/18
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| 新型L形梁压阻微加速度传感器 期刊论文
半导体技术, 2009, 期号: 12
高廷金; 熊斌
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制 会议论文
第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009
王家畴; 李昕欣; 孙立宁
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2012/01/18
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| 基于Taguchi三次设计的微机械陀螺健壮性设计 期刊论文
上海交通大学学报, 2008, 期号: 02
张正福; 王安麟; 刘广军; 姜涛; 焦继伟
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2012/01/06
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| “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007
王育才
收藏 | 浏览/下载：58/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 音叉振动式微机械陀螺输出电容的统计特性分析 期刊论文
机械工程学报, 2007, 期号: 08
姜涛; 王安麟; 刘广军; 张颖; 焦继伟
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计 期刊论文
中国电机工程学报, 2007, 期号: 03
赵本刚; 徐静; 高翔; 刘玉菲; 吴亚明
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2012/01/06
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