基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计

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	基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计
	赵本刚 ; 徐静 ; 高翔 ; 刘玉菲 ; 吴亚明
刊名	中国电机工程学报
	2007
期号	03
关键词	串联电池组电压测量光电继电器一致性漏电流
ISSN号	0258-8013
中文摘要	光学电流传感器解决了传统电流互感器的缺点,但仍然存在生产困难、性能易受环境温度影响等不足,MEMS作为一种新兴技术,可批量生产各种性能良好的微电子器件,该文提出了将MEMS技术用于检测高压交流电的光学电流传感器。高压侧的传感装置由Rogowski线圈、MEMS扭转微镜和双光纤准直器组成。文中介绍了器件的高压侧敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数条件、模态分析和温度补偿结果,并利用ANSYS与Matlab软件对器件的性能进行了仿真模拟和分析。理论结果表明：温度补偿后,温度变化±50K时测试误差为0．
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51307]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	赵本刚,徐静,高翔,等. 基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计[J]. 中国电机工程学报,2007(03).
APA	赵本刚,徐静,高翔,刘玉菲,&吴亚明.(2007).基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计.中国电机工程学报(03).
MLA	赵本刚,et al."基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计".中国电机工程学报 .03(2007).