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| 基于无掩模光刻的高精度ITO电极加工工艺研究 期刊论文
2019
作者: 殷艺; 刘志坚; 王赛杰; 武森; 严志军
  收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2019/12/26
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| 新型光刻技术研究进展 期刊论文
激光技术, 2019, 卷号: 043
作者: 何立文; 罗乐; 孟钢; 邵景珍; 方晓东
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2020/10/26
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| 三维微纳结构的光刻及其表面形貌测量方法的研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2018
作者: 邓钦元
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2018/05/24
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| 基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 杨朝兴
收藏 | 浏览/下载：66/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 自定义照明模式分辨力增强技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者: 江海波
收藏 | 浏览/下载：34/0 | 提交时间：2015/07/30
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| 基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计 期刊论文
制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50
作者: 佟军民; 胡松
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2016/11/23
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| 极紫外光刻含缺陷掩模理论模型的建立和仿真验证 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 管文超
收藏 | 浏览/下载：68/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 倾斜/旋转紫外光刻技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 何骏
收藏 | 浏览/下载：43/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 极紫外光刻掩模建模与缺陷补偿方法研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 刘晓雷
收藏 | 浏览/下载：78/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1505-1510
孟祥翔; 刘伟奇; 魏忠伦; 柳华; 康玉思; 冯睿; 张大亮
收藏 | 浏览/下载：78/0 | 提交时间：2015/04/17
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