采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统

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	采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统
	孟祥翔 ; 刘伟奇 ; 魏忠伦 ; 柳华 ; 康玉思 ; 冯睿 ; 张大亮
刊名	红外与激光工程
	2014-05-24
期号	5 页码:1505-1510
关键词	无掩模光刻照明系统激光光束整形矩形平顶光束自由曲面
中文摘要	为了实现无掩模光刻系统所需求的矩形准直平顶激光光束照明,提高照明系统的能量利用率,提出了一种利用双自由曲面整形的照明系统设计方法。根据光程守恒原理和折射定律,推导了积分形式的双自由曲面面形方程;采用数值解法求解积分方程,分别设计了含有双自由曲面的双透镜整形单元和单透镜整形单元的照明系统,使用光学设计软件对两种照明系统进行模拟,得到两种照明系统的照明均匀性在93%以上,能量利用率大于91%。结果表明,两种照明系统均能实现无掩模光刻系统的高均匀性、高能量利用率照明。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42932]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	孟祥翔,刘伟奇,魏忠伦,等. 采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统[J]. 红外与激光工程,2014(5):1505-1510.
APA	孟祥翔.,刘伟奇.,魏忠伦.,柳华.,康玉思.,...&张大亮.(2014).采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统.红外与激光工程(5),1505-1510.
MLA	孟祥翔,et al."采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统".红外与激光工程 .5(2014):1505-1510.