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The Error Analysis of the Complex Modulation for Flattop Focusing Beam Shaping 期刊论文
Frontiers in Physics, 2022, 卷号: 10, 页码: 6
作者:  J. Shao;  H. Dong;  S. L. Han;  S. F. Sun and Z. W. Nie
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Influence of pupil on the laser beam shaping system by pure phase modulation 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2016, 卷号: 65, 期号: 4
作者:  He Jie-Ling;  Wei Ling;  Yang Jin-Sheng;  Li Xi-Qi;  He Yi
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/06/27
Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文
J. Opt. Technol., 2016, 卷号: 83, 期号: 3, 页码: 154
作者:  Chen, Ming;  Huang, Huijie;  Yang, Baoxi;  Zhu, Jing;  Zeng, Aijun
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/12/25
Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文
J. Opt. Technol., 2016, 卷号: 83, 期号: 3, 页码: 154
作者:  Huang, Huijie;  Chen, Ming;  Zhang, Fang;  Zeng, Aijun;  Zhu, Jing
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/12/25
An approach to increase efficiency of DOE based pupil shaping technique for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文
opt. express, 2015, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 4482
作者:  Zhang, Fang;  Zhu, Jing;  Yue, Weirui;  Wang, Jian;  Song, Qiang
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2016/11/28
高NA光刻机光瞳整形系统关键技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:  宋强
收藏  |  浏览/下载：221/0  |  提交时间：2016/11/28
光刻机光瞳整形衍射光学元件远场多参数检测方法 期刊论文
中国激光, 2013, 卷号: 40, 期号: 9, 页码: 908001
作者:  胡中华;  朱菁;  杨宝喜;  彭雪峰;  曾爱军
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/28
用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计 期刊论文
中国激光, 2013, 卷号: 40, 期号: 6, 页码: 616001
作者:  胡中华;  宝喜;  朱菁;  肖艳芬;  曾爱军
收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2016/11/28
Design of zoom system for pupil shaping of lithography tool 会议论文
international conference on optical instruments and technology - optical systems and modern optoelectronic instruments
作者:  Fang, Ruifang;  Zeng, Aijun;  Zhang, Shanhua;  Huang, Huijie
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/28
Theoretical prediction of three-dimensional shifting of a spherical focal spot in a 4Pi focusing system 期刊论文
journal of optics, 2012, 卷号: 14, 期号: 5, 页码: 055706
作者:  Li, Ze;  Yan, Shaohui;  Yao, Baoli;  Lei, Ming;  Ma, Baiheng
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/09/04

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