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在激光退火系统中用于控制边缘轮廓的定制光瞳光阑形状 专利
专利号: CN107479203A, 申请日期: 2017-12-15, 公开日期: 2017-12-15
作者: 道格拉斯·E·霍姆格伦

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基于自适应光学的激光束整形系统研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者: 何杰铃

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基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 11, 页码: 102-111
作者: 邢莎莎; 冉英华; 江海波; 邢廷文

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高NA光刻机光瞳整形系统关键技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者: 宋强

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基于光瞳滤波器的径向偏振光束的聚焦整形 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 0
朱化凤; 王天阳; 刘佩; 付剑波; 李代林; 王宁; 王秀民

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光刻机光瞳整形衍射光学元件远场多参数检测方法 期刊论文
中国激光, 2013, 卷号: 40, 期号: 9, 页码: 908001
作者: 胡中华; 朱菁; 杨宝喜; 彭雪峰; 曾爱军

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用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计 期刊论文
中国激光, 2013, 卷号: 40, 期号: 6, 页码: 616001
作者: 胡中华; 宝喜; 朱菁; 肖艳芬; 曾爱军

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光刻机照明均匀化技术的研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者: 肖艳芬

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基于二元光学元件的三维聚焦光场整形技术 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者: 余俊杰

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