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长春光学精密机械与物... [4]
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学位论文 [2]
期刊论文 [2]
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2018 [1]
2015 [1]
2014 [1]
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高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究
学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
沈晨
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提交时间:2019/09/23
曲面光栅离子束刻蚀机
三维工作台
凸面光栅
摆动刻蚀
硅改性RB-SiC
大光栅刻划机刻划系统结构设计与刻线弯曲误差机械修正
学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:
宋楠
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2015/11/30
大光栅刻划机
刻划系统
光栅刻线弯曲误差
机械修正方法
气浮导轨
光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响
期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2674-2682
杨超
;
于海利
;
冯树龙
;
李晓天
;
齐向东
;
姜珊
;
唐玉国
收藏
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提交时间:2015/04/17
刻划刀架
刻划光栅
刻线弯曲
刻线位置误差
光栅光谱
机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法
期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 03, 页码: 232-239
李晓天
;
巴音贺希格
;
齐向东
;
于海利
;
唐玉国
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提交时间:2014/03/07
光栅
平面光栅
光栅刻线弯曲
光栅刻线位置误差
衍射波前
光栅指标
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