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机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究 期刊论文
机械设计与制造, 2020, 期号: 05, 页码: 37-40
作者:  张宝庆;  张绍泽;  曹聪;  高劲松
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2021/07/06
大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  姚雪峰
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/09/23
基底温度对中阶梯光栅厚铝膜质量的影响 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 656-662
作者:  杨海贵;  孙梦至;  王笑夷;  高劲松;  李资政
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2017/09/17
大光栅刻划机刻划系统结构设计与刻线弯曲误差机械修正 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  宋楠
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2015/11/30
大尺寸光栅刻槽误差校正及在线监测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨超
收藏  |  浏览/下载:63/0  |  提交时间:2015/11/30
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者:  宋楠;  冯树龙;  于海利;  齐向东;  巴音贺希格
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2016/07/06
精确可调单簧片式施压机构在摩擦驱动中的应用 期刊论文
机械设计与研究, 2015, 期号: 01, 页码: 1-4
作者:  陈琦
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2016/07/06
光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
李晓天; 于海利; 齐向东; 朱继伟; 于宏柱; 巴音贺希格
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2015/04/17


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