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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  沈晨 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2019/09/23 曲面光栅离子束刻蚀机  三维工作台  凸面光栅  摆动刻蚀  硅改性RB-SiC   用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 期刊论文 光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596 作者:  沈晨;  谭鑫;  朱继伟;  张伟;  齐向东 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2019/09/17 衍射光栅  曲面闪耀光栅  光栅刻蚀  三维工作台  圆弧拟合算法  轨迹误差