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摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅
期刊论文
强激光与粒子束, 2019, 卷号: 31, 期号: 06, 页码: 7-15
作者:
王琼
;
沈晨
;
谭鑫
;
齐向东
;
巴音贺希格
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提交时间:2020/08/24
凸面闪耀光栅
摆动刻蚀
衍射效率
成像光谱仪
高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究
学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
沈晨
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提交时间:2019/09/23
曲面光栅离子束刻蚀机
三维工作台
凸面光栅
摆动刻蚀
硅改性RB-SiC
用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析
期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596
作者:
沈晨
;
谭鑫
;
朱继伟
;
张伟
;
齐向东
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提交时间:2019/09/17
衍射光栅
曲面闪耀光栅
光栅刻蚀
三维工作台
圆弧拟合算法
轨迹误差
一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计
成果
鉴定: 无, 2007
李昕欣
;
王跃林
收藏
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提交时间:2013/04/12
一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1570651, 申请日期: 2005-01-26, 公开日期: 2005-01-26
李昕欣
;
程保罗
;
王跃林
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2012/01/06
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