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摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅 期刊论文
强激光与粒子束, 2019, 卷号: 31, 期号: 06, 页码: 7-15
作者:  王琼;  沈晨;  谭鑫;  齐向东;  巴音贺希格
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高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  沈晨
收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2019/09/23
用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596
作者:  沈晨;  谭鑫;  朱继伟;  张伟;  齐向东
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一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计 成果
鉴定: 无, 2007
李昕欣; 王跃林
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一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1570651, 申请日期: 2005-01-26, 公开日期: 2005-01-26
李昕欣; 程保罗; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2012/01/06


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