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| 表面活性剂复配对蓝宝石CMP后清洗效果的影响 期刊论文
微纳电子技术, 2019, 卷号: 56, 期号: 2, 页码: 151-156
作者: 韦嘉辉[1]; 周海[2]; 高晗[3]; 梁志强[4]
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| 抛光垫特性对氧化镓CMP影响的实验研究 期刊论文
工具技术, 2018, 期号: 06, 页码: 29-32
作者: 龚凯[1]; 周海[2]; 韦嘉辉[3]; 宋放[4]; 王晨宇[5]
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2019/12/24
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| 抛光垫特性对硬质合金刀片CMP加工效果的影响 期刊论文
表面技术, 2017, 卷号: 第46卷 第12期, 页码: 270-276
作者: 毛美姣; 吴锋; 胡自化
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/31
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| 化学机械抛光设备负载特性与主体结构变形 期刊论文
2016, 2016
赵德文; 路新春; 何永勇; 王同庆; ZHAO Dewen; LU Xinchun; HE Yongyong; WANG Tongqing
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| 布线图案导致的集成电路平坦化损伤研究 期刊论文
2016, 2016
郭玉龙; 郭丹; 潘国顺; 雒建斌; GUO Yulong; GUO Dan; PAN Guoshun; LUO Jianbin
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| 300mm晶圆化学机械抛光机关键技术研究与实现 期刊论文
2016, 2016
王同庆; 路新春; 赵德文; 门延武; 何永勇; WANG Tongqing; LU Xinchun; ZHAO Dewen; MEN Yanwu; HE Yongyong
收藏 | 浏览/下载：7/0 |
| 300mm晶圆化学机械抛光流体润滑行为研究 期刊论文
2016, 2016
赵德文; 路新春
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| 激光剥离GaN表面的抛光技术 期刊论文
2014
应磊莹; 刘文杰; 张江勇; 胡晓龙; 张保平
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2016/05/17
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| 激光剥离GaN表面的抛光技术 期刊论文
《半导体技术》, 2014, 卷号: 39, 页码: 758-762
作者: 应磊莹[1]; 刘文杰[2]; 张江勇[1]; 胡晓龙[2,3]; 张保平[1,2]
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2019/04/25
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| 微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备 期刊论文
2013
陶也; 曾毅波; 刘畅; 林杰; 郭航
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2016/05/17
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