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| 机器人气囊抛光SiC光学元件加工特性研究 期刊论文
西安交通大学学报, 2020, 期号: 12, 页码: 9
作者: 黄智; 周涛; 吴湘; 刘海涛; 万勇健
  收藏 | 浏览/下载：34/0 | 提交时间：2021/05/11
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| GaN晶片的光电化学机械抛光新方法 项目
2019-
作者: 董志刚
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/02 |
| 化学机械抛光液的研究进展 期刊论文
表面技术, 2019, 卷号: 48, 页码: 1-10,23
作者: 孟凡宁; 张振宇; 郜培丽; 孟祥东; 刘健
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 硬质合金刀具材料化学机械抛光机理研究 期刊论文
表面技术, 2019, 卷号: 第2期
作者: 袁巨龙; 毛美姣; 李敏; 刘舜; 胡自化
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2019/12/13 |
| 表面活性剂复配对蓝宝石CMP后清洗效果的影响 期刊论文
微纳电子技术, 2019, 卷号: 56, 期号: 2, 页码: 151-156
作者: 韦嘉辉[1]; 周海[2]; 高晗[3]; 梁志强[4]
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2019/12/24
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| 一种化学机械抛光后芯片表面形貌评测方法及系统 专利
专利号: CN201410643976.0, 申请日期: 2018-04-06, 公开日期: 2016-06-01
作者: 曹鹤 ; 陈岚; 马天宇
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2019/03/06 |
| 一种锗的化学机械抛光方法 专利
专利号: CN201410345960.1, 申请日期: 2018-04-03, 公开日期: 2016-01-20
作者: 刘金彪; 杨涛; 赵超; 李俊峰; 贺晓彬
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2019/03/19 |
| 含水膜单晶铜磨料磨损的分子动力学计算 无文献类型
作者: 张亚楠
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/11/19
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| 一种半导体晶片光电化学机械抛光加工装置 专利
申请日期: 2018-01-01, 公开日期: 2019-03-15
作者: 康仁科; 时康; 董志刚; 欧李苇; 朱祥龙
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/02 |
| YAG晶体的固结磨料研磨与化学机械抛光工艺研究 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者: 安润莉
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/02
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