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碲镉汞双色红外探测芯片的喷涂匀胶技术研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2012
作者:  尹文婷
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2012/09/11
碲镉汞电子雪崩探测器分子束外延材料基础研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2012
作者:  顾仁杰
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2012/09/11
碲镉汞电子雪崩光电探测器制备技术研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
作者:  李海滨
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2012/09/11
空间遥感用短波红外InGaAs探测器暗电流及低频噪声研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  李淘
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2012/09/11
碲镉汞微台面干法隔离的ICP技术研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  周文洪
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2012/08/22
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  宁锦华
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
氮化镓基紫外探测器腐蚀工艺研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2008
作者:  陈杰
收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2012/08/22
GaN/AlGaN紫外探测器的制备与光电特性研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2008
作者:  陈亮
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2012/08/22
氮化镓基雪崩光电二极管的研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2007
作者:  许金通
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2012/08/14
航天遥感用InGaAs线列红外焦平面的研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2007
作者:  吕衍秋
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2012/08/14


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