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3D MEMS In-Chip Solenoid Inductor With High Inductance Density for Power MEMS Device 期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2019, 卷号: 40, 页码: 1816-1819
作者:  Xu, Tiantong;  Sun, Jiamian;  Wu, Hanxiao;  Li, Haiwang;  Li, Hanqing
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A 3-D Stacked High-Q PI-Based MEMS Inductor for Wireless Power Transmission System in Bio-Implanted Applications 期刊论文
journal of microelectromechanical systems, 2014
Sun, Xuming; Peng, Xuhua; Zheng, Yang; Li, Xiuhan; Zhang, Haixia
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/10
射频MEMS磁芯集成螺线管型平面电感的制备与研究 学位论文
2014, 2013
王振威
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2016/01/13
Design, Simulation, and Characterization of Variable Inductor With Electrostatic Actuation Fabricated by Using Surface Micromachining Technology 期刊论文
ieee电子器件汇刊, 2010
Fang, Dong-Ming; Li, Xiu-Han; Yuan, Quan; Zhang, Hai-Xia
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/10
可调谐微机电电感 期刊论文
微纳电子技术, 2010
方东明; 张海霞
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可植入式微器件中若干技术的研究 学位论文
2009, 2009
李伟红
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用于能量传输的生物体植入式MEMS电感线圈的设计 期刊论文
2009
骆明辉; 卢露; 郭航
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2016/05/17
表面镀铜悬浮厚单晶硅螺线MEMS电感 期刊论文
半导体学报, 2006
吴文刚; 李轶; 黄风义; 韩翔; 张少勇; 李志宏; 郝一龙
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RF inductors with suspended and copper coated thick crystalline silicon spirals for monolithic MEMS LC circuits 期刊论文
ieee microwave and wireless components letters, 2005
Wu, WG; Huang, FY; Li, Y; Zhang, SY; Han, X; Li, ZH; Hao, YL; Wang, YY
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A novel RF inductor fabricated through MEMS processing and electroless copper plating 期刊论文
chinese journal of electronics, 2005
Li, Y; Wu, WG; Hao, YL
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13

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