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一种用于晶体等温气相外延工艺的石英容器 专利
专利号: 201110063540.0, 申请日期: 2012-01-01, 公开日期: 2013-01-14
作者:  1王仍 2李向阳 3 林杏潮 4张莉萍 5张可峰 6焦翠灵 7陆液 8 邵秀华 9 陆荣
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