一种用于晶体等温气相外延工艺的石英容器 | |
1王仍 2李向阳 3 林杏潮 4张莉萍 5张可峰 6焦翠灵 7陆液 8 邵秀华 9 陆荣 | |
2012 | |
著作权人 | 上海技术物理研究所 |
专利号 | 201110063540.0 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明 |
公开日期 | 2013-01-14 |
申请日期 | 2011 |
语种 | 中文 |
状态 | 公开 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/6905] |
专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 1王仍 2李向阳 3 林杏潮 4张莉萍 5张可峰 6焦翠灵 7陆液 8 邵秀华 9 陆荣. 一种用于晶体等温气相外延工艺的石英容器. 201110063540.0. 2012-01-01. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论