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低温反应溅射沉积α-(Al,Cr)2O3膜 期刊论文
《材料研究学报》, 2018, 卷号: 32, 页码: 278-282
作者:  邱万奇[1] 王书林[1] 程奕天[1];  钟喜春[1];  焦东玲[1];  周克崧[1,2]
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