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	低温反应溅射沉积α-（Al，Cr）2O3膜
	邱万奇[1] 王书林[1] 程奕天[1]; 钟喜春[1]; 焦东玲[1]; 周克崧[1,2]
刊名	《材料研究学报》
	2018
卷号	32页码:278-282
关键词	材料表面与界面 氧化物薄膜 α-(Al,Cr)2O3 高功率脉冲磁控溅射 A1Cr合金靶 纳米压痕
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内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2163929
专题	华南理工大学
作者单位	1.[1]华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640 2.[2]广东省科学院广东省新材料研究所,广州510650
推荐引用方式 GB/T 7714	邱万奇[1] 王书林[1] 程奕天[1],钟喜春[1],焦东玲[1],等. 低温反应溅射沉积α-（Al，Cr）2O3膜[J]. 《材料研究学报》,2018,32:278-282.
APA	邱万奇[1] 王书林[1] 程奕天[1],钟喜春[1],焦东玲[1],&周克崧[1,2].(2018).低温反应溅射沉积α-（Al，Cr）2O3膜.《材料研究学报》,32,278-282.
MLA	邱万奇[1] 王书林[1] 程奕天[1],et al."低温反应溅射沉积α-（Al，Cr）2O3膜".《材料研究学报》 32(2018):278-282.

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