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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2013     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 A Si-Glass based pressure sensor with a single piezoresistive element for harsh environment applications 其他 2013-01-01 Zhang, H; Xu, Huiming; Li, Yan; Song, Zij; San, Haisheng; Yu, Yuxi; 伞海生; 余煜玺 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/07/22 MEMS  Pressure sensors  Silicon   Fabrication of silicon piezoresistive pressure sensor using a reliable wet etching process 其他 2013-01-01 Xu, Huiming; Zhang, H; Deng, Zhiqia; San, Haishen; Yu, Yuxi; 伞海生; 余煜玺 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/07/22 Fabrication  Fixtures (tooling)  Pressure sensors  Silicon  Silicon wafers  Wet etching   MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究 学位论文 2013, 2013 陶也 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/01/13 微机电系统  压力传感器  硅  MEMS  pressure sensors  silicon