| 题名 | MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究; Design of MEMS Pressure Sensors and Research of Key Fabrication Technology |
| 作者 | 陶也 |
| 答辩日期 | 2013 ; 2013 |
| 导师 | 郭航 |
| 关键词 | 微机电系统 压力传感器 硅 MEMS pressure sensors silicon |
| 英文摘要 | 压力传感器是在微机电系统领域最早开始研究并且产业化的微机电器件之一，微机电系统以微加工工艺为重点研究内容。本文主要对不同类型的微机电系统领域的压力传感器的相关部分进行设计和分析，并在研究相关微加工工艺的基础上制备硅基压阻式和电容式压力传感器，针对重掺杂硅电容式压力传感器制备中的关键工艺：均匀硅膜和欧姆电极的制备作出深入分析和实验探索。 论文的主要内容如下： 利用膜的应力形变等力学、电学知识、压阻效应、大（小）挠度理论、惠斯通电桥等相关知识设计了硅基压阻式压力传感器薄膜与电阻结构尺寸及布置方式。对传感器结构进行ANSYS静态仿真，为了获得较大输出，得到力学性能好的弹性结构，通过改变一些结构几...; Pressure sensor is one of the earliest Micro-Electro-Mechanical machines which is studied and put into industrialization in the field of MEMS. The study of MEMS focuses on the micro manufacturing technology. This thesis mainly designs and analyses the relevant parts of different types of pressure sensors in the field of MEMS Silicon piezoresistive pressure sensor and silicon capacitive pressure se...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院_精密仪器及机械; 学号：19920101154095 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=40258 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/79128]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陶也. MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究, Design of MEMS Pressure Sensors and Research of Key Fabrication Technology[D]. 2013, 2013. |
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