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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Silicon on insulator pressure sensor based on a thermostable electrode for high temperature applications 期刊论文 Micro & Nano Letters, 2015 Liu, G. D.; Cui, W. P.; Hu, H.; Zhang, F. S.; Zhang, Y. X.; Gao, C. C.; Hao, Y. L. 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2017/12/03 silicon  elemental semiconductors  silicon-on-insulator  pressure sensors  electrodes  titanium  titanium compounds  platinum  gold  ohmic contacts  thermal stability  transmission lines  Auger electron spectra  measurement errors  calibration  silicon on insulator pressure sensor  thermostable electrode  high temperature applications  thermal stability  ohmic contacts  linear transmission line method  Auger electron spectroscopy  calibration  nonlinearity error  sensitivity  pressure 3  DIFFUSION BARRIER