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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Insights into the atomistic behavior in diamond chemical mechanical polishing with center dot OH environment using ReaxFF molecular dynamics simulation 期刊论文 COMPUTATIONAL MATERIALS SCIENCE, 2019, 卷号: 166, 页码: 136-142 作者:  Shi, Zhuoying;  Jin, Zhuji;  Guo, Xiaoguang;  Yuan, Song;  Guo, Jiang 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/02 Diamond  Chemical mechanical polishing  Removal mechanism  Molecular dynamics simulation  ReaxFF   Atomistic mechanisms of chemical mechanical polishing of diamond (100) in aqueous H2O2/pure H2O: Molecular dynamics simulations using reactive force field (ReaxFF) 期刊论文 COMPUTATIONAL MATERIALS SCIENCE, 2019, 卷号: 157, 页码: 99-106 作者:  Guo, Xiaoguang;  Yuan, Song;  Wang, Xiaoli;  Jin, Zhuji;  Kang, Renke 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2019/12/02 Molecular dynamics  ReaxFF  CMP  Diamond  Mechanochemistry   REAXFF MOLECULAR DYNAMICS SIMULATION OF MATERIAL REMOVAL MECHANISMS DURING CMP PROCESS OF SILICA GLASS IN AQUEOUS H2O2 会议论文 2019 CHINA SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY INTERNATIONAL CONFERENCE (CSTIC), 2019-01-01 作者:  Guo, Xiaoguang;  Chen, Chong;  Kang, Renke;  Jin, Zhuji 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2019/12/02 Diamond nanoscale surface processing and tribochemical wear mechanism 期刊论文 DIAMOND AND RELATED MATERIALS, 2019, 卷号: 94, 页码: 8-13 作者:  Yuan, Song;  Guo, Xiaoguang;  Lu, Menggang;  Jin, Zhuji;  Kang, Renke 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2019/12/02 ReaxFF molecular dynamics  Diamond  Tribochemical wear mechanism  CMP  Aqueous H2O2   Chemical reaction mechanism of Cu surface in aqueous H2O2MD simulations using ReaxFF reactive force field 会议论文 19th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2019, Bilbao, Spain, 2019-06-03 作者:  Guo, Xiaoguang;  Wang, Xiaoli;  Jin, Zhuji;  Kang, Renke;  Gao, Hang 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/02 Atomistic mechanisms of Cu CMP in aqueous H2O2: Molecular dynamics simulations using ReaxFF reactive force field 期刊论文 COMPUTATIONAL MATERIALS SCIENCE, 2018, 卷号: 155, 页码: 476-482 作者:  Guo, Xiaoguang;  Wang, Xiaoli;  Jin, Zhuji;  Kang, Renke 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/02 Copper  Chemical mechanical polishing (CMP)  ReaxFF reactive force field  Polishing pressure   氧化锌薄膜表面气体吸附的反应分子动力学模拟 会议论文 第十四届全国敏感元件与传感器学术会议论文集中国仪器仪表学会;中国电子学会;中国航空学会;中国生物工程学会, 成都, 2016-10-14 作者:  周君伟;  余隽;  李婷;  吴昊;  黄正兴 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/09 氧化锌 气体吸附 ReaxFF 分子动力学