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北京大学 [6]
中国矿业大学(徐州) [2]
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其他 [8]
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2015 [3]
2009 [2]
2005 [1]
2003 [2]
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一种双端固支梁室温瓦斯传感器
其他
2015-09-02, 2015-09-02
马洪宇
;
丁恩杰
;
张卫东
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2017/06/15
悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器
其他
2015-08-25, 2015-08-25
马洪宇
;
丁恩杰
;
张卫东
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
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提交时间:2017/06/15
石英真空计及其应用
其他
2015-01-01
王逊
;
张云峰
;
唐振松
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2017/12/03
石英真空计
石英晶振
谐振阻抗
DL-10石英型真空计的研制
其他
2009-01-01
王逊
;
张云峰
;
唐镇松
收藏
  |  
浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
真空测试 石英真空计 工作原理 压强传感器
基于表面牺牲层工艺微谐振器的金属化与释放
其他
2009-01-01
黄一峰
;
阎博
;
陈兢
收藏
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浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2015/11/12
微谐振器 多晶硅 表面牺牲层 制备工艺
一种高灵敏度谐振加速度计芯片
其他
2005-01-01
贾玉斌
;
郝一龙
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/13
离子注入对Si<,3>N<,4>薄膜应力的影响
其他
2003-01-01
张国炳
;
徐嘉佳
;
张劲宇
;
郝一龙
收藏
  |  
浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/13
离子注入 Si&
薄膜应力 微电子机械系统
,3&
N&
,4&
lt
gt
lt
gt
Cymbal换能器的几何尺寸与性能关系研究
其他
2003-01-01
王光灿
;
吴轩
;
王丽坤
;
李光
;
栾桂冬
;
张福学
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
Cymbal换能器
空腔高度
金属材料厚度
压电陶瓷厚度
性能关系
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