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	悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器
	马洪宇 ; 丁恩杰 ; 张卫东
	2015-08-25 ; 2015-08-25
中文摘要	一种悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器，硅衬底上设有以介质层作为结构层的悬臂梁，悬臂梁根部设有对称排列、结构相同的第一、第二压电单元，压电单元包括压电层、设在压电层上下的上电极和下电极，下电极设在介质层上，下电极是下电极金属层的一部分，设有隔离介质层覆盖介质层、压电层和下电极金属层，上电极设在压电层上部的隔离介质层上，悬臂梁的隔离介质层上设有超分子化合物薄膜作为瓦斯敏感层，悬臂梁之外的隔离介质层旁设有连接下电极的下电极引线和连接上电极的上电极引线。采用压电驱动悬臂梁谐振及压电拾振方式检测，实现瓦斯浓度的检测。该传感器具有免受毒化、不会受瓦斯高浓度冲击、性能稳定、使用寿命长、体积小等特点。; 专利类型： 发明专利 申请（专利）号： CN201110077293.X 申请日期： 2011年3月30日 公开(公告)日： 2011年7月27日 公开(公告)号： CN102135514A 主分类号： G01N27/00,G,G01,G01N,G01N27 分类号： G01N27/00,G,G01,G01N,G01N27 申请（专利权）人： 中国矿业大学 发明（设计）人： 马洪宇,丁恩杰,张卫东 主申请人地址： 221116 江苏省徐州市三环南路中国矿业大学科技处 专利代理机构： 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人： 唐惠芬 国别省市代码： 江苏;32 主权项： 一种悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器，其特征在于：该传感器以硅衬底（101）为基底，在硅衬底（101）上设有以介质层（1021）作为结构层的悬臂梁结构（107），悬臂梁结构（107）的根部并排设有第一压电单元（1061）和第二压电单元（1062），压电单元包括压电层（104）、设在压电层（104）上下的上电极（1032）和下电极（1031），下电极（1031）设在介质层（1021）上，介质层（1021）、压电层（104）和下电极（1031）上覆盖有隔离介质层（1022），上电极（1032）设在压电层（104）上部的隔离介质层（1022）上，介质层（1021）悬臂梁一侧的隔离介质层（1022）上设有瓦斯敏感层（105），介质层（1021）悬臂梁后部的隔离介质层（1022）旁设有连接下电极（1031）的下电极引线（10311）和连接上电极（1032）的上电极引线（10322）。 法律状态： 公开 ，实质审查的生效 ，著录事项变更 ，著录事项变更
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.calis.edu.cn/hdl/232060/10181]
专题	中国矿业大学（徐州）
推荐引用方式 GB/T 7714	马洪宇,丁恩杰,张卫东. 悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器. 2015-08-25, 2015-08-25.

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