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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    发表日期：2013     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 自封装MEMS压阻式压力传感器的研制 学位论文 2013, 2013 宋子军 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2016/01/13 自封装  压力传感器  可靠性  Self-package  Pressure Sensor  Reliability   MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究 学位论文 2013, 2013 陶也 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/01/13 微机电系统  压力传感器  硅  MEMS  pressure sensors  silicon   若干亚波长光栅的设计与应用 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013 作者:  吴俊 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2016/11/28 亚波长光栅  傅里叶模态法  简化模式方法  分束器  增强吸收