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题名	自封装MEMS压阻式压力传感器的研制; Investigation of self-packaged MEMS piezoresistive pressure sensor
作者	宋子军
答辩日期	2013 ; 2013
导师	伞海生
关键词	自封装 压力传感器 可靠性 Self-package Pressure Sensor Reliability
英文摘要	自从1954年，贝尔实验室的SmithC.S.发现了硅材料中的压阻效应以来，硅基MEMS压阻式压力传感器得到了广泛的应用。MEMS压阻式压力传感器是发展最早，且市场占有率极大的MEMS传感器，目前应用领域在不断的扩展。 随着工业技术的发展，许多MEMS压力传感器需要在恶劣的环境中工作，如：潮湿、酸碱腐蚀溶液、充满静电颗粒和粉尘等恶劣环境中。在传统硅压阻式压力传感器中，基本都把电阻及其连接电路排布在硅膜外表面直接与外界环境接触。器件在工作过程中，外界环境物质对电阻的腐蚀和静电颗粒等都会影响器件的性能和使用寿命。 为了提高MEMS压阻式压力传感器的可靠性，本文提出了一种自封装MEMS压阻式压力...; Since the discovery of piezoresistivity in silicon in 1954 by Smith C.S,silicon-based piezoresistive pressure sensors have been widely used. The MEMS piezoresistive silicon pressure sensor is developed very early and it shares a large market. The applications of the piezoresistive pressure sensors are extended. Along with the development of industry technology, a great many of MEMS pressure sens...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院_测试计量技术及仪器; 学号：19920101152701
语种	zh_CN
出处	http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=40643
内容类型	学位论文
源URL	[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/79001]
专题	物理技术－学位论文
推荐引用方式 GB/T 7714	宋子军. 自封装MEMS压阻式压力传感器的研制, Investigation of self-packaged MEMS piezoresistive pressure sensor[D]. 2013, 2013.

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