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科研机构
厦门大学 [1]
内容类型
学位论文 [1]
发表日期
2011 [1]
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基于SiC-AlN双凹槽结构的MEMS全高温接触式电容压力传感器基础研究
学位论文
2011, 2011
吕浩杰
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提交时间:2016/02/14
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